在半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，材料的耐高溫、絕緣性以及耐腐蝕性等特性至關(guān)重要。陶瓷零部件由于自身特殊的性能優(yōu)勢，在眾多材料中脫穎而出，已然成為眾多設(shè)備不可或缺的關(guān)鍵組成部件。其在不同設(shè)備當(dāng)中的應(yīng)用，可以根據(jù)各類設(shè)備所具備的功能模塊來進(jìn)行細(xì)致劃分： 一、刻蝕